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图谱光电最新上市的BSM系列短波红外显微系统（Brightfield SWIR Microscope，明场短波红外显微镜），主要是由照明系统、成像系统和机械系统三大系统组成，搭配图谱光电SWIR系列400nm-1700nm波段相机，对于硅基产品、膜材产品具备较好穿透能力，特别适合半导体、芯片、精密电路等工业产品内部特征识别及缺陷检测。显微系统采用模块化设计，根据不同的应用领域，且SWIR系列相机提供USB3 / GigE/ 10G / CameraLink等接口选择，并支持OEM定制。
管镜系统参数
型号：BSM-T180VA/BSM-T090VA:
支持常规无限远 SWIR 显微物镜；
管镜焦距：180mm/90mm；
成像光路像面尺寸：24mm(使用 180mm 焦距管镜)；
成像光路光谱范围：900-1700nm；
相机接口：C 接口；
照明方式：同轴落射式科勒照明；
照明光源：1550/1400/1300/1200nm LED 光源。
型号：BSM-T100VA：
支持高数值孔径无限远 SWIR 显微物镜；
管镜焦距：100mm；
成像光路像面尺寸：33mm(使用 200mm 焦距管镜)；
成像光路光谱范围：900-1700nm；
相机接口：C 接口；
照明方式：同轴落射式科勒照明；
照明光源：1550/1400/1300/1200nm LED 光源。
显微物镜参数
显微系统外观尺寸
应用案例
