专用显微系统
针对特殊应用需求设计的专业显微系统,包括短波红外、微分干涉相衬、明场金相、荧光、偏光等多种显微技术。
BSM - 短波红外显微系统
在严格的尺寸和功率限制下,紧凑型高性能成像系统的需求推动了 CMOS 传感器技术的演变,推动了数字显微镜的重大进步。短波红外 (SWIR) 模块化显微系统(以 ToupTek SWIR 显微系统等为例)现在通过将成像范围从传统的可见光谱 (400-700 nm) 扩展到 900-1700 nm 范围...
主要特性
- 光学兼容性:SWIR 显微系统利用标准玻璃透镜系统,避免了中波 (MWIR) 和长波红外 (LWIR) 成像所需的反射光学元件,与传统显微镜平台无缝集成,降低制造成本。
- 硅穿透能力:SWIR 光子的能量低于硅的带隙(1.1 eV),可对硅基材料的内部缺陷进行无损检测,例如半导体晶片中的微裂纹或电子元件中的焊接故障。
- 照明模块:结合针对 SWIR 波长优化的红外LED,确保均匀的样品照明。
- 成像模块:高灵敏度传感器和具有大 NA 的精细光路,实现微米级分辨率和小景深。
- 高灵敏度 InGaAs 传感器(例如 SWIR5000KM 系列相机),实现微米级分辨率。
- 相机紧凑设计:80×80×45.5 mm³,双增益模式,支持高速成像(高达 35.5fps(USB3)、93fps(CL)、118fps(10G))和低噪声成像。
- 机械模块:采用精密 CNC 加工和防振设计,可在自动化或高通量工作流程中保持稳定性。
应用领域
DIC100 - 微分干涉相衬显微系统
采用微分干涉相衬技术,增强样品三维立体感,适合透明、弱对比样本。
DIC (Differential Interference Contrast)显微系统利用双光束偏振干涉的原理,其过程如下:
1、从起偏器射出的线偏振光通过一个有双折射性质的诺马斯基棱镜后,分解成两束互相垂直振动的有一定相位差...
标准工作距物镜参数 (45mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
DIC2.5XA | 2.5X | 0.075 | 6.2mm | 80mm | 4.46μm | 10mm | 25mm | M26*0.705 |
DIC5XA | 5X | 0.15 | 23.5mm | 39mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
DIC10XA | 10X | 0.3 | 22.8mm | 20mm | 1.1μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
DIC20XA | 20X | 0.4 | 19.2mm | 10mm | 0.8μm | 1.1mm | 25mm | M26*0.705 |
DIC50XA | 50X | 0.55 | 11mm | 4mm | 0.6μm | 0.44mm | 25mm | M26*0.705 |
长工作距物镜参数 (60mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
DICL2XA | 2X | 0.055 | 33.7mm | 100mm | 6.1μm | 12.5mm | 25mm | M26*0.705 |
DICL5XA | 5X | 0.14 | 33.6mm | 40mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
DICL10XA | 10X | 0.28 | 33.4mm | 20mm | 1.2μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
DICL20XA | 20X | 0.34 | 29.5mm | 10mm | 0.8μm | 1.25mm | 25mm | M26*0.705 |
DICL50XA | 50X | 0.5 | 18.9mm | 4mm | 0.7μm | 0.5mm | 25mm | M26*0.705 |
主要特性
- 标准工作距系列/长工作距系列物镜(可选)
- 成像光路:1X(筒镜焦距180mm),可定制不同倍率缩倍镜
- 成像光路像面尺寸:25mm
- 成像光路光谱范围:可见光
- 相机接口:C/M42/M52等可选
- 照明方式:临界照明/科勒照明可选
- 照明光源:10W白光/蓝光LED照明可选
应用领域
BMM100 - 明场金相显微系统
适用于金属及非金属材料结构检测与质量分析,支持标准及长工作距离物镜。
明场金相显微镜(Brightfield Metallographic Microscope)主要是由照明系统、成像系统和机械系统三大系统组成,它是一种精密的光学仪器,广泛的应用在现代科学技术的各个领域当中,是一种非常重要的检测...
标准工作距物镜参数 (45mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
BF5XA | 5X | 0.15 | 22mm | 36mm | 2.23μm | 5mm | 25mm | M20*0.705 |
BF10XA | 10X | 0.3 | 15mm | 18mm | 1.1μm | 2.5mm | 25mm | M20*0.705 |
BF20XA | 20X | 0.4 | 10mm | 9mm | 0.75μm | 1.25mm | 25mm | M20*0.705 |
BF50XA | 50X | 0.8 | 2.5mm | 3.6mm | 0.41μm | 0.5mm | 25mm | M20*0.705 |
长工作距物镜参数 (60mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
BFL2.5XA | 2.5X | 0.075 | 6.2mm | 80mm | 4.46μm | 10mm | 25mm | M26*0.705 |
BFL5XA | 5X | 0.15 | 23.5mm | 40mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
BFL10XA | 10X | 0.3 | 22.8mm | 20mm | 1.1μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
BFL20XA | 20X | 0.4 | 19.2mm | 10mm | 0.8μm | 1.1mm | 25mm | M26*0.705 |
BFL50XA | 50X | 0.55 | 11mm | 4mm | 0.6μm | 0.44mm | 25mm | M26*0.705 |
主要特性
- 标准工作距系列/长工作距系列物镜(可选)
- 成像光路:1X(筒镜焦距180mm),可定制不同倍率缩倍镜
- 成像光路像面尺寸:25mm
- 成像光路光谱范围:可见光
- 相机接口:C/M42/M52等可选
- 照明方式:临界照明/科勒照明可选
- 照明光源:10W白光/蓝光LED照明可选
应用领域
FM100 - 荧光显微系统
适用于生物荧光成像和特殊材料检测,内置DAPI紫外模块,支持多种物镜与滤光片定制。
荧光显微镜(Fluorescence Microscope)是一种用于观察荧光或磷光物质的显微镜。荧光显微镜的原理是使用特定波长(或波段)的激发光照射样品,激发光被荧光团吸收从而发射出波长更长的发射光,利用发射滤...
标准工作距物镜参数 (45mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Flour2.5XA | 2.5X | 0.075 | 6.2mm | 80mm | 4.46μm | 10mm | 25mm | M26*0.705 |
Flour5XA | 5X | 0.15 | 23.5mm | 39mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
Flour10XA | 10X | 0.3 | 22.8mm | 20mm | 1.1μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
Flour20XA | 20X | 0.4 | 19.2mm | 10mm | 0.8μm | 1.1mm | 25mm | M26*0.705 |
Flour50XA | 50X | 0.55 | 11mm | 4mm | 0.6μm | 0.44mm | 25mm | M26*0.705 |
长工作距物镜参数 (60mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FlourL2XA | 2X | 0.055 | 33.7mm | 100mm | 6.1μm | 12.5mm | 25mm | M26*0.705 |
FlourL5XA | 5X | 0.14 | 33.6mm | 40mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
FlourL10XA | 10X | 0.28 | 33.4mm | 20mm | 1.2μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
FlourL20XA | 20X | 0.34 | 29.5mm | 10mm | 0.8μm | 1.25mm | 25mm | M26*0.705 |
FlourL50XA | 50X | 0.5 | 18.9mm | 4mm | 0.7μm | 0.5mm | 25mm | M26*0.705 |
主要特性
- 标准工作距系列/长工作距系列物镜(可选)
- 成像光路:1X(筒镜焦距180mm),可定制不同倍率缩倍镜
- 成像光路像面尺寸:25mm
- 成像光路光谱范围:可见光
- 相机接口:C/M42/M52等可选
- 照明方式:临界照明/科勒照明可选
- 照明光源:功率3W,波长365nm的LED光源
- 荧光模块:DAPI单带通紫外滤片(激发片365nm、发射片445nm、二向色镜405nm),可定制
应用领域
PLM100 - 偏光显微系统
用于分析各向异性双折射材料结构及应力,适用于矿物、纤维、聚合物、地质、石棉等分析。
偏光显微镜(Polarizing Light microscope)是用于研究所谓透明与不透明各向异性材料的一种显微镜。凡具有双折射的物质,在偏光显微镜下就能分辨的清楚,当然这些物质也可用染色法来进行观察,但有些...
标准工作距物镜参数 (45mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
POL2.5XA | 2.5X | 0.075 | 6.2mm | 80mm | 4.46μm | 10mm | 25mm | M26*0.705 |
POL5XA | 5X | 0.15 | 23.5mm | 39mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
POL10XA | 10X | 0.3 | 22.8mm | 20mm | 1.1μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
POL20XA | 20X | 0.4 | 19.2mm | 10mm | 0.8μm | 1.1mm | 25mm | M26*0.705 |
POL50XA | 50X | 0.55 | 11mm | 4mm | 0.6μm | 0.44mm | 25mm | M26*0.705 |
长工作距物镜参数 (60mm齐焦距)
物镜名称 | 放大倍率 | 数值孔径 | 工作距离 | 焦距 | 分辨率 | 物方视场 | 像方视场 | 螺纹尺寸 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
POLL2XA | 2X | 0.055 | 33.7mm | 100mm | 6.1μm | 12.5mm | 25mm | M26*0.705 |
POLL5XA | 5X | 0.14 | 33.6mm | 40mm | 2.2μm | 5mm | 25mm | M26*0.705 |
POLL10XA | 10X | 0.28 | 33.4mm | 20mm | 1.2μm | 2.5mm | 25mm | M26*0.705 |
POLL20XA | 20X | 0.34 | 29.5mm | 10mm | 0.8μm | 1.25mm | 25mm | M26*0.705 |
POLL50XA | 50X | 0.5 | 18.9mm | 4mm | 0.7μm | 0.5mm | 25mm | M26*0.705 |
主要特性
- 标准工作距系列/长工作距系列物镜(可选)
- 成像光路:1X(筒镜焦距180mm),可定制不同倍率缩倍镜
- 成像光路像面尺寸:25mm
- 成像光路光谱范围:可见光
- 相机接口:C/M42/M52等可选
- 照明方式:临界照明/科勒照明可选
- 照明光源:10W白光/蓝光LED照明可选
应用领域
专用显微系统特性说明
- 专业化设计,针对特定应用优化
- 高品质光学元件
- 模块化配置,易于扩展
- 适合科研和工业检测
- 完整系统解决方案
选型指南
根据样品特性选择合适的显微方法
标准或长工作距物镜满足不同需求
科勒照明或临界照明可选
支持C/M42/M52等多种接口
图谱光电专用显微系统采用模块化设计,针对不同应用场景提供专业化解决方案,满足科研和工业检测的高端需求。
系统配置方案
根据应用需求,灵活组合硬件与软件模块
维度 | 关键配置 | 技术亮点 | 用户收益 |
---|---|---|---|
成像硬件 |
• ToupCam X 系列:IMX415/IMX571 等背照式 CMOS,最高 45 MP、USB 3.0/HDMI 60 fps 4K • HCAM/PUM 便携模组:UVC 即插即用,8 LED 环形光内置 |
• 低读噪 & 66 dB+ 动态范围 • 逐行扫描+全局快门选配 |
真实色彩还原、高对比度;满足高速 AOI、荧光弱信号等多场景 |
变倍光学 |
• MZO 系列 (0.25×–8×):20× 变倍比,NA 0.12,174 mm 长工作距 • ZOPE 一体机:内置 8 LED & USB 相机,齐焦线性变倍 |
双端平行光路、衍射极限 MTF、低畸变 | 缩放无须二次调焦,将样品从毫米级直达微米级 |
照明系统 |
• TZM0756DRL 65/85 mm LED 环形光:亮度 PWM 连续可调 • TZM0756CL 同轴光 + 点光源 • AALRL-200 大环形光:300 mm 均匀视场 |
多通道 / 偏振 / 同轴复合光;LED 角度 30°可调 | 解决 PCB 焊点眩光、晶圆划痕、透明薄膜检视等难题 |
机械平台 |
• TPS-600 粗微调支架 (5 kg 承重) • TPS-300 精密微调 2 µm Step • Motorized Z & XY 平台(选配) |
阳极氧化 Class II 航空铝、滚珠丝杆 | 长期 24×7 稳定定位,支持自动对焦与阵列扫描 |
软件&算法 |
• ToupView:实时测量/注释、深景合成、HDR、偏振解调 • SDK/API:Windows/macOS/Linux/Android • AI 模块:缺陷分类、尺寸公差判定 |
二次开发 + PLC/机器人串口协议 | 快速集成到 MES/SPC 质量体系,支持边缘计算与云端同步 |
系统优势
五大核心优势,构建专业显微成像平台
完整生态,交钥匙交付
相机、镜头、照明、支架、软件全自研——无需多家采购匹配,即插即用节省 60% 集成工时。
高分辨 + 大景深双兼顾
45 MP 超清 CMOS + 深景合成算法,可在 30 mm 视场内获得微米级纵深清晰图像。
多波段 & 低光成像
支持白光/近红外/偏振组合,与同轴光+环形光同步曝光;在 0.05 lux 下仍能呈现纹理细节。
灵活扩展,守护投资
标准 C-Mount 与 GigE Vision/USB3 Vision 协议,后期可升级 AI 模块、自动载物台和多相机同步,无需替换主体。
跨行业落地案例
- 半导体:Bumping、划痕、键合线缺陷 AOI
- FPC/PCB:锡膏高度、焊盘残渣检测
- 新能源:锂电隔膜孔径、极片涂布一致性
- 生命科学:组织切片、昆虫学、植物活体观察
- 教育培训:高校材料课虚拟实验、STEAM 创客课程
应用案例
覆盖多个行业的成功实施经验

半导体制造

FPC/PCB质检

新能源材料
